1、
精密交叉导轨表面质量：这是精密交叉导轨验收的重要指标之一，包括表面平整度、表面粗糙度、表面硬度等。导轨表面平整度应在一定范围内（如0.01mm以内），表面粗糙度不能超过规定的标准（如Ra0.8），表面硬度应达到相应的要求（如60HRC以上）。
2、几何尺寸：同样是精密交叉导轨验收的重要指标，包括导轨的直线度、垂直度、平行度、轴向偏差等。导轨的直线度应在规定范围内（如0.01mm以内），垂直度、平行度误差不得超过一定值（如0.02mm/m），轴向偏差也应在允许范围内（如0.05mm以内）。
3、使用专业工具：如水准仪法，这是一种螺距测量法。在测量时，根据精密交叉导轨的长度，将其分成若干等份，并用粉笔在各段上做标记。然后沿交叉导轨纵向放置水平仪，并调整水平仪，使主水平仪泡居中。通过记录每一段的读数，并对数据进行处理，可以计算出误差值。
4、动态测试：在实际使用过程中，对精密交叉导轨进行动态测试，观察其运动状态是否稳定，有无异常噪音或振动等现象。
5、记录和报告：将检测和验收的结果进行详细记录，并编制验收报告。验收报告应包括精密交叉导轨的基本信息、检测数据、检测结果、存在的问题和建议等内容。
